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एमकेएस आरपीएस AX7695 एकीकृत रिमोट प्लाज्मा स्रोत

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एमकेएस आरपीएस AX7695 एकीकृत रिमोट प्लाज्मा स्रोत

एमकेएस आरपीएस AX7695 एक एकीकृत रिमोट प्लाज्मा स्रोत है, जिसका अर्थ है कि यह एक स्व-निहित इकाई है जिसे उपकरण के प्रक्रिया कक्ष पर आसानी से स्थापित किया जा सकता है। इसका उपयोग परमाणु रेडिकल्स का एक स्वच्छ और कम लागत वाला स्रोत उत्पन्न करने के लिए किया जाता है, जिसका उपयोग अर्धचालक विनिर्माण में वेफर्स पर वांछित प्रतिक्रियाएं लाने के लिए किया जाता है।


·प्रबंधक: जिनी


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    एमकेएस आरपीएस AX7695 एक एकीकृत रिमोट प्लाज्मा स्रोत है, जो वेफर प्रसंस्करण के लिए परमाणु रेडिकल्स का एक स्वच्छ और कम लागत वाला स्रोत उत्पन्न करने के लिए सेमीकंडक्टर निर्माण में उपयोग किया जाने वाला एक उपकरण है।


    AX7695 उपकरण प्रक्रिया कक्ष पर सीधे आसान स्थापना के लिए एक क्वार्ट्ज वैक्यूम कक्ष, आरएफ बिजली की आपूर्ति और सभी आवश्यक नियंत्रणों को एक कॉम्पैक्ट, स्व-निहित इकाई में एकीकृत करता है। यह पारंपरिक तरीकों की तुलना में प्रक्रिया कक्ष में परमाणु रेडिकल्स को पेश करने का एक सरल और अधिक लागत प्रभावी तरीका प्रदान करता है।


    यहां MKS RPS AX7695 की कुछ प्रमुख विशेषताएं दी गई हैं:

    1. एकीकृत डिज़ाइन:आसान स्थापना और संचालन के लिए सभी आवश्यक घटकों को एक इकाई में संयोजित करता है।
    2. परमाणु कट्टरपंथियों का स्वच्छ स्रोत:परमाणु रेडिकल्स का एक स्वच्छ और कम-संदूषण स्रोत उत्पन्न करता है, जो कई अर्धचालक प्रक्रियाओं के लिए आवश्यक है।
    3. कम लागत:प्रक्रिया कक्ष में परमाणु रेडिकल्स को पेश करने का एक लागत प्रभावी तरीका प्रदान करता है।
    4. उच्च प्रवाह दर:6 एसएलएम तक परमाणु रेडिकल्स प्रदान कर सकता है, जो कई अनुप्रयोगों के लिए पर्याप्त है।
    5. संविदा आकार:AX7695 का कॉम्पैक्ट आकार इसे विभिन्न उपकरण कक्षों में उपयोग के लिए आदर्श बनाता है।

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    हमारी प्रतिबद्धता:


    100% गुणवत्ता आश्वासन: हमारे पास उत्पाद की गुणवत्ता के लिए एक सख्त नियंत्रण प्रणाली है, कच्चे माल की खरीद से लेकर उत्पादन और प्रसंस्करण तक, और फिर तैयार उत्पाद निरीक्षण तक, यह सुनिश्चित करने के लिए कि उत्पाद उच्चतम गुणवत्ता मानकों को पूरा करता है, प्रत्येक चरण सख्त परीक्षण और निगरानी से गुजरता है।


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