Aplicación del sistema de control AB en la producción de semiconductores.

El sistema de control automático de Rockwell ha revolucionado la producción de semiconductores: aumentó el rendimiento del procesamiento de obleas en un 25%, redujo el tiempo de crecimiento de las obleas de más de un año a seis semanas, lo redujo en un 85% y hizo que todo el sistema fuera más flexible y confiable. Información previa En la industria de los semiconductores, los sistemas de automatización se utilizan para el procesamiento de obleas a chips. En este proceso, se utilizan tratamiento térmico rápido, recocido térmico rápido y deposición termoquímica de vapor rápida (RTCVD) para grabar la superficie de la oblea de silicio. Todo el sistema, denominado herramienta cluster, consta de múltiples procesos, formando un puerto automático con tres módulos de proceso y una cámara de enfriamiento. El módulo de proceso incluye todo tipo de equipos de automatización necesarios para el procesamiento avanzado de obleas semiconductoras. Tradicionalmente, los OEM de la industria de semiconductores utilizan sus propios sistemas de componentes de hardware y software para controlar con C u otros programas de código. Los desarrolladores de herramientas de clúster descubrieron que trabajar con lenguajes de programación complejos aumentaba el tiempo de desarrollo y las necesidades de capacitación, mientras que las computadoras a menudo fallaban y eran difíciles de ajustar. Además, la industria de los semiconductores necesita una excusa estándar para utilizar múltiples puertos de comunicación RS232 en el desarrollo de sistemas. Estos requisitos complejos hacen que el desarrollo rápido y conveniente del sistema enfrente ciertos desafíos. Se planteó el problema. Un desarrollador especial de herramientas de cluster de semiconductores, también proveedor de IBM, Intel, Motorola, Toshiba y otras empresas, consideró que el método tradicional de controlar el sistema de procesamiento de obleas tenía mucho margen de mejora, lo que desencadenó la investigación de nuevas tecnologías más allá de los semiconductores tradicionales. tecnología. Puede gestionar y controlar el proceso de producción, controlar las funciones especiales de cada módulo diferente y controlar el movimiento de tres ejes de cada módulo. Además, necesita una interfaz cómoda y fiable para que los operadores introduzcan y envíen datos. Para no desperdiciar espacio de purificación, que supone un alto coste, todo el sistema debe ser compacto y fácil de instalar y configurar. Desde el desarrollo inicial del sistema de procesamiento hasta los componentes de todo el sistema, la mayoría de las empresas procesadoras de obleas necesitan de 12 a 14 meses; esta parte de tiempo debe reducirse. El controlador programable de Allen-Bradley puede proporcionar la velocidad, flexibilidad, confiabilidad y conveniencia necesarias para el desarrollo y operación del sistema de control.