Zastosowanie układu sterowania AB w produkcji półprzewodników

Automatyczny system sterowania Rockwell zrewolucjonizował produkcję półprzewodników - zwiększając przepustowość przetwarzania płytek o 25%, skracając czas wzrostu płytek z ponad roku do sześciu tygodni, zmniejszając o 85% i czyniąc cały system bardziej elastycznym i niezawodnym. Informacje ogólne W przemyśle półprzewodników systemy automatyzacji są wykorzystywane do przetwarzania płytek na chipy. W procesie tym do wytrawiania powierzchni płytki krzemowej stosuje się szybką obróbkę cieplną, szybkie wyżarzanie termiczne i szybkie termochemiczne osadzanie z fazy gazowej (RTCVD). Cały system, zwany narzędziem klastrowym, składa się z wielu procesów, tworzących automatyczny port z trzema modułami procesowymi i komorą chłodniczą. Moduł procesowy obejmuje wszelkiego rodzaju sprzęt automatyzujący wymagany do zaawansowanego przetwarzania płytek półprzewodnikowych. Tradycyjnie producenci OEM w branży półprzewodników używają własnego sprzętu i systemów komponentów oprogramowania do sterowania za pomocą C lub innych programów kodowych. Twórcy narzędzi klastrowych odkryli, że praca ze złożonymi językami programowania wydłuża czas programowania i zwiększa potrzeby szkoleniowe, a komputery często ulegają awariom i są trudne do dostosowania. Ponadto przemysł półprzewodników potrzebuje standardowego pretekstu do korzystania z wielu portów komunikacyjnych RS232 przy opracowywaniu systemów. Te złożone wymagania sprawiają, że szybki i wygodny rozwój systemu staje przed pewnymi wyzwaniami. Problem został podniesiony. Specjalny twórca narzędzi do klastrów półprzewodników – także dostawca IBM, Intel, Motorola, Toshiba i innych firm – uznał, że tradycyjna metoda sterowania systemem przetwarzania płytek półprzewodnikowych ma duże pole do ulepszeń, co zapoczątkowało badania nad nowymi technologiami wykraczającymi poza tradycyjne półprzewodniki technologia. Może zarządzać i kontrolować proces produkcyjny, kontrolować specjalne funkcje każdego modułu i kontrolować ruch w trzech osiach każdego modułu. Ponadto potrzebuje wygodnego i niezawodnego interfejsu umożliwiającego operatorom wprowadzanie danych i przesyłanie informacji zwrotnych. Aby nie marnować kosztownej przestrzeni do oczyszczania, cały system musi być kompaktowy, łatwy w instalacji i konfiguracji. Od początkowego opracowania systemu przetwarzania do elementów całego systemu większość firm zajmujących się przetwórstwem płytek potrzebuje od 12 do 14 miesięcy – tę część czasu należy skrócić. Programowalny sterownik firmy Allen-Bradley może zapewnić szybkość, elastyczność, niezawodność i wygodę wymaganą do opracowania i obsługi systemu sterowania.