Применение системы управления АБ в полупроводниковом производстве

Система автоматического управления Rockwell произвела революцию в производстве полупроводников — увеличив производительность обработки пластин на 25%, сократив время роста пластины с более чем одного года до шести недель, сократив ее на 85% и сделав всю систему более гибкой и надежной. Справочная информация В полупроводниковой промышленности системы автоматизации используются для обработки пластин-чипов. В этом процессе для травления поверхности кремниевой пластины используются быстрая термическая обработка, быстрый термический отжиг и быстрое термохимическое осаждение из паровой фазы (RTCVD). Вся система, называемая кластерным инструментом, состоит из нескольких процессов, образующих автоматический порт с тремя технологическими модулями и охлаждающей камерой. Технологический модуль включает в себя все виды оборудования автоматизации, необходимые для современной обработки полупроводниковых пластин. Традиционно OEM-производители в полупроводниковой промышленности используют свои собственные системы аппаратных и программных компонентов для управления с помощью C или других программ. Разработчики кластерных инструментов обнаружили, что работа со сложными языками программирования увеличивает время разработки и потребности в обучении, а компьютеры часто выходят из строя и их трудно настроить. Кроме того, полупроводниковой промышленности требуется стандартное оправдание для использования нескольких портов связи RS232 при разработке систем. Эти сложные требования ставят перед быстрым и удобным развитием системы определенные проблемы. Проблема была поднята. Специальный разработчик полупроводниковых кластерных инструментов, а также поставщик IBM, Intel, Motorola, Toshiba и других компаний, посчитал, что традиционный метод управления системой обработки пластин имеет большие возможности для совершенствования, что послужило толчком к исследованию новых технологий, выходящих за рамки традиционных полупроводниковых технологий. технологии. Он может управлять и контролировать производственный процесс, контролировать специальные функции каждого отдельного модуля и контролировать трехосное движение каждого модуля. Кроме того, ему необходим удобный и надежный интерфейс для ввода и обратной связи операторов. Чтобы не тратить впустую дорогостоящее пространство для очистки, вся система должна быть компактной, простой в установке и настройке. От первоначальной разработки системы обработки до компонентов всей системы большинству компаний, занимающихся обработкой пластин, требуется от 12 до 14 месяцев — эту часть времени необходимо сократить. Программируемый контроллер Allen-Bradley может обеспечить скорость, гибкость, надежность и удобство, необходимые для разработки и эксплуатации системы управления.