การประยุกต์ระบบควบคุมเอบีในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

ระบบควบคุมอัตโนมัติของ Rockwell ได้ปฏิวัติการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยเพิ่มปริมาณการประมวลผลของเวเฟอร์ 25% ลดเวลาการเติบโตของเวเฟอร์จากมากกว่าหนึ่งปีเหลือหกสัปดาห์ ลดลง 85% และทำให้ทั้งระบบมีความยืดหยุ่นและเชื่อถือได้มากขึ้น ข้อมูลความเป็นมา ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ระบบอัตโนมัติใช้สำหรับการประมวลผลแผ่นเวเฟอร์ไปจนถึงชิป ในกระบวนการนี้ การบำบัดด้วยความร้อนอย่างรวดเร็ว การหลอมด้วยความร้อนอย่างรวดเร็ว และการสะสมไอเทอร์โมเคมีอย่างรวดเร็ว (RTCVD) ถูกนำมาใช้เพื่อกัดผิวของแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน ระบบทั้งหมดเรียกว่าเครื่องมือคลัสเตอร์ ประกอบด้วยกระบวนการหลายกระบวนการ โดยสร้างพอร์ตอัตโนมัติที่มีโมดูลกระบวนการสามโมดูลและห้องทำความเย็น โมดูลกระบวนการประกอบด้วยอุปกรณ์อัตโนมัติทุกประเภทที่จำเป็นสำหรับการประมวลผลเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง ตามเนื้อผ้า OEM ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์จะใช้ระบบส่วนประกอบฮาร์ดแวร์และซอฟต์แวร์ของตนเองเพื่อควบคุมด้วยภาษา C หรือโปรแกรมโค้ดอื่นๆ นักพัฒนาเครื่องมือคลัสเตอร์พบว่าการทำงานกับภาษาการเขียนโปรแกรมที่ซับซ้อนเพิ่มเวลาในการพัฒนาและความต้องการการฝึกอบรม ในขณะที่คอมพิวเตอร์มักจะหยุดทำงานและปรับเปลี่ยนได้ยาก นอกจากนี้ อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ยังต้องการข้อแก้ตัวมาตรฐานในการใช้พอร์ตสื่อสาร RS232 หลายพอร์ตในการพัฒนาระบบ ข้อกำหนดที่ซับซ้อนเหล่านี้ทำให้การพัฒนาระบบรวดเร็วและสะดวกสบายเผชิญกับความท้าทายบางประการ ปัญหาถูกหยิบยกขึ้นมา ผู้พัฒนาเครื่องมือคลัสเตอร์เซมิคอนดักเตอร์แบบพิเศษซึ่งเป็นซัพพลายเออร์ของ IBM, Intel, Motorola, Toshiba และบริษัทอื่นๆ รู้สึกว่าวิธีการควบคุมระบบการประมวลผลเวเฟอร์แบบดั้งเดิมนั้นมีพื้นที่ที่ดีสำหรับการปรับปรุง ซึ่งกระตุ้นให้เกิดการวิจัยเทคโนโลยีใหม่นอกเหนือจากเซมิคอนดักเตอร์แบบดั้งเดิม เทคโนโลยี. สามารถจัดการและควบคุมกระบวนการผลิต ควบคุมฟังก์ชันพิเศษของแต่ละโมดูล และควบคุมการเคลื่อนที่แบบสามแกนของแต่ละโมดูล นอกจากนี้ ยังต้องการอินเทอร์เฟซที่สะดวกและเชื่อถือได้เพื่อให้ผู้ปฏิบัติงานสามารถป้อนข้อมูลและตอบกลับได้ เพื่อไม่ให้เปลืองพื้นที่ฟอกอากาศที่มีต้นทุนสูง ทั้งระบบจะต้องมีขนาดกะทัดรัด ติดตั้งและกำหนดค่าได้ง่าย จากการพัฒนาระบบการประมวลผลเบื้องต้นไปจนถึงส่วนประกอบของระบบทั้งหมด บริษัทแปรรูปเวเฟอร์ส่วนใหญ่ต้องใช้เวลา 12 ถึง 14 เดือน ซึ่งจะต้องลดเวลาส่วนนี้ลง ตัวควบคุมแบบตั้งโปรแกรมได้ของ Allen-Bradley สามารถให้ความเร็ว ความยืดหยุ่น ความน่าเชื่อถือ และความสะดวกสบายที่จำเป็นสำหรับการพัฒนาและการทำงานของระบบควบคุม