AB kontrol sisteminin yarı iletken üretiminde uygulanması

Rockwell'in otomatik kontrol sistemi, yarı iletken üretiminde devrim yarattı; levha işleme verimini %25 artırdı, levhanın büyüme süresini bir yıldan fazla olan süreden altı haftaya düşürdü, %85 azalttı ve tüm sistemi daha esnek ve güvenilir hale getirdi. Arka Plan Bilgisi Yarı iletken endüstrisinde, levhadan talaşa işleme için otomasyon sistemleri kullanılmaktadır. Bu süreçte, silikon levhanın yüzeyini aşındırmak için hızlı ısıl işlem, hızlı termal tavlama ve hızlı termokimyasal buhar biriktirme (RTCVD) kullanılır. Küme aracı olarak adlandırılan sistemin tamamı, üç işlem modülü ve bir soğutma odası ile otomatik bir bağlantı noktası oluşturan birden fazla işlemden oluşur. Proses modülü, ileri yarı iletken levha işleme için gerekli olan her türlü otomasyon ekipmanını içerir. Geleneksel olarak yarı iletken endüstrisindeki OEM'ler, C veya diğer kod programlarıyla kontrol etmek için kendi donanım ve yazılım bileşen sistemlerini kullanırlar. Küme araçlarının geliştiricileri, karmaşık programlama dilleriyle çalışmanın geliştirme süresini ve eğitim ihtiyaçlarını artırdığını, bilgisayarların sıklıkla çöktüğünü ve ayarlanmasının zor olduğunu buldu. Ayrıca yarı iletken endüstrisinin, sistem geliştirmede birden fazla RS232 iletişim portunu kullanmak için standart bir mazerete ihtiyacı vardır. Bu karmaşık gereksinimler, sistemin hızlı ve kolay bir şekilde geliştirilmesinin bazı zorluklarla karşı karşıya kalmasına neden olur. Sorun gündeme geldi. Yarı iletken küme araçlarının özel bir geliştiricisi (aynı zamanda IBM, Intel, Motorola, Toshiba ve diğer şirketlerin de tedarikçisi), levha işleme sistemini kontrol etmeye yönelik geleneksel yöntemin iyileştirme için büyük bir alana sahip olduğunu hissetti ve bu da geleneksel yarı iletkenin ötesinde yeni teknolojilerin araştırılmasını tetikledi. teknoloji. Üretim sürecini yönetebilir ve kontrol edebilir, her farklı modülün özel fonksiyonlarını kontrol edebilir ve her modülün üç eksenli hareketini kontrol edebilir. Ayrıca operatörlerin veri girişi ve geri bildirimi için kullanışlı ve güvenilir bir arayüze ihtiyacı vardır. Yüksek maliyetli arıtma alanını boşa harcamamak için tüm sistemin kompakt, kurulumu ve yapılandırması kolay olması gerekir. İşleme sisteminin ilk geliştirilmesinden tüm sistemin bileşenlerine kadar, çoğu gofret işleme şirketinin 12 ila 14 aya ihtiyacı vardır - bu sürenin kısaltılması gerekir. Allen-Bradley'in programlanabilir kontrolörü, kontrol sisteminin geliştirilmesi ve çalıştırılması için gereken hızı, esnekliği, güvenilirliği ve rahatlığı sağlayabilir.