Ứng dụng hệ thống điều khiển AB trong sản xuất chất bán dẫn

Hệ thống điều khiển tự động của Rockwell đã cách mạng hóa việc sản xuất chất bán dẫn - tăng thông lượng xử lý wafer lên 25%, giảm thời gian phát triển của wafer từ hơn một năm xuống còn sáu tuần, giảm 85% và làm cho toàn bộ hệ thống trở nên linh hoạt và đáng tin cậy hơn. Thông tin cơ bản Trong ngành công nghiệp bán dẫn, các hệ thống tự động hóa được sử dụng để xử lý từ wafer đến chip. Trong quá trình này, xử lý nhiệt nhanh, ủ nhiệt nhanh và lắng đọng hơi nhiệt hóa nhanh (RTCVD) được sử dụng để ăn mòn bề mặt của tấm wafer silicon. Toàn bộ hệ thống, được gọi là công cụ cụm, bao gồm nhiều quy trình, tạo thành một cổng tự động với ba mô-đun quy trình và buồng làm mát. Mô-đun quy trình bao gồm tất cả các loại thiết bị tự động hóa cần thiết để xử lý tấm bán dẫn tiên tiến. Theo truyền thống, các OEM trong ngành bán dẫn sử dụng hệ thống thành phần phần cứng và phần mềm của riêng họ để điều khiển bằng C hoặc các chương trình mã khác. Các nhà phát triển công cụ cụm nhận thấy rằng làm việc với các ngôn ngữ lập trình phức tạp sẽ làm tăng thời gian phát triển và nhu cầu đào tạo, trong khi máy tính thường bị hỏng và khó điều chỉnh. Ngoài ra, ngành bán dẫn cần có lý do tiêu chuẩn để sử dụng nhiều cổng giao tiếp RS232 trong phát triển hệ thống. Những yêu cầu phức tạp này khiến cho sự phát triển nhanh chóng và thuận tiện của hệ thống phải đối mặt với những thách thức nhất định. Vấn đề đã được nêu ra. Một nhà phát triển đặc biệt của các công cụ cụm bán dẫn - cũng là nhà cung cấp của IBM, Intel, Motorola, Toshiba và các công ty khác - cảm thấy rằng phương pháp điều khiển hệ thống xử lý wafer truyền thống có nhiều cơ hội để cải tiến, điều này đã thúc đẩy việc nghiên cứu các công nghệ mới ngoài chất bán dẫn truyền thống. công nghệ. Nó có thể quản lý và kiểm soát quá trình sản xuất, điều khiển các chức năng đặc biệt của từng mô-đun khác nhau và điều khiển chuyển động ba trục của từng mô-đun. Ngoài ra, nó cần một giao diện thuận tiện và đáng tin cậy để người vận hành nhập và phản hồi dữ liệu. Để không lãng phí không gian thanh lọc chi phí cao, toàn bộ hệ thống phải nhỏ gọn, dễ cài đặt và cấu hình. Từ giai đoạn phát triển ban đầu của hệ thống xử lý đến các thành phần của toàn bộ hệ thống, hầu hết các công ty xử lý tấm bán dẫn cần từ 12 đến 14 tháng - khoảng thời gian này phải được giảm bớt. Bộ điều khiển khả trình của Allen-Bradley có thể cung cấp tốc độ, tính linh hoạt, độ tin cậy và sự thuận tiện cần thiết cho việc phát triển và vận hành hệ thống điều khiển.