Giải pháp cảm biến siêu âm giám sát độ dày màng trong quy trình công nghiệp

Khi chiều dài của một hướng nhỏ hơn chiều dài của hai hướng còn lại thì cấu trúc này được gọi là màng mỏng. Ngày nay, các loại màng vi điện tử, màng quang học, màng chống oxy hóa, màng từ điện trở khổng lồ và màng siêu dẫn nhiệt độ cao liên tục được ứng dụng trong sản xuất công nghiệp và đời sống con người. Độ dày của màng sản xuất trong công nghiệp là một thông số rất quan trọng, nó liên quan trực tiếp đến việc vật liệu màng có thể hoạt động bình thường hay không. Nói chung, độ dày của màng đề cập đến khoảng cách giữa bề mặt nền và bề mặt màng. Trên thực tế, bề mặt của màng không đồng đều và không liên tục, đồng thời có các lỗ kim, vết nứt nhỏ, sợi nhỏ, tạp chất, khuyết tật mạng và các phân tử hấp phụ bề mặt trong màng. Ví dụ, trong quy trình sản xuất mạch tích hợp quy mô lớn, do sự tích hợp mạch không ngừng được cải tiến, bất kỳ thay đổi nhỏ nào về độ dày màng sẽ ảnh hưởng trực tiếp đến hiệu suất của mạch tích hợp. Ngoài ra, các tính chất cơ học, độ truyền ánh sáng, tính chất từ, độ dẫn nhiệt và cấu trúc bề mặt của vật liệu màng mỏng có liên quan chặt chẽ với độ dày. Do đó, việc phát hiện chính xác trực tuyến độ dày màng trong quá trình sản xuất là một phương tiện quan trọng để đảm bảo chất lượng sản phẩm và nâng cao hiệu quả sản xuất. Việc đo độ dày màng chính xác phụ thuộc vào loại cảm biến độ dày được sử dụng. Hiện nay, có một số phương pháp phát hiện độ dày màng trực tuyến: 1. Đầu dò Beta là cảm biến sớm nhất được sử dụng để phát hiện màng mỏng. Nguồn bức xạ beta được sử dụng làm nguồn tín hiệu và công nghệ đã trưởng thành. Tuy nhiên, cần phải xin giấy phép sử dụng nguồn phóng xạ và thủ tục xuất nhập khẩu phức tạp. Có giới hạn thời gian sử dụng là chu kỳ bán rã và độ chính xác phát hiện sẽ giảm khi nguồn phóng xạ suy giảm. 2. Đầu dò hồng ngoại sử dụng nguyên lý một dải hồng ngoại cụ thể được hấp thụ mạnh trong một màng nhựa cụ thể để đo độ dày của màng. Cảm biến có khả năng phát hiện ổn định và không bị ảnh hưởng bởi những thay đổi xấu của môi trường, nhưng nhạy cảm với các chất phụ gia và thay đổi màu sắc. Nó không thể thích ứng với việc sản xuất nhiều sản phẩm trên cùng một dây chuyền sản xuất. 3. Đầu dò tia X sử dụng tia X được tạo ra bởi nguồn năng lượng của ống tia X làm nguồn tín hiệu để phát hiện độ dày của màng nhựa. Nó có nhiều ưu điểm: Chất phóng xạ bay; Năng lượng thấp không có giấy phép sử dụng; Phạm vi đo rộng; Độ chính xác đo cao; Tất cả các loại nhựa đều có thể đo lường được và không bị ảnh hưởng bởi chất phụ gia và hạt màu. Hiện nay, dụng cụ đo độ dày màng đang phát triển theo hướng có độ chính xác và tự động hóa cao và đã đạt đến trình độ cao. Độ chính xác đo của nó là ± 2% ～ ± 5% độ dày màng đo được đối với lớp màng thông thường và ± 2nm đối với màng tương đối mỏng. Nó có chức năng đo diện tích vi mô, tốc độ đo nhanh và mức độ tự động hóa cao. Đặc biệt với sự tiến bộ của khoa học công nghệ và ứng dụng các dụng cụ chính xác, ngoài các phương pháp kỹ thuật phát hiện trên, phương pháp đo độ dày màng còn có thể sử dụng cảm biến siêu âm để phát hiện độ dày màng. Cảm biến siêu âm Maxbotix mb7480 được mạng khai thác công nghiệp khuyên dùng là máy đo khoảng cách chính xác sóng siêu âm hiệu suất cao, có thể cung cấp phạm vi siêu âm có độ chính xác cao và độ phân giải cao trong không khí. Dòng cảm biến siêu âm mb7480 là giải pháp tiết kiệm chi phí cho các ứng dụng tự động hóa/điều khiển quá trình, trong đó yêu cầu phạm vi chính xác, hoạt động ở điện áp thấp, tiết kiệm không gian, chi phí thấp và khả năng chống chịu thời tiết IP67. Việc lắp ráp cảm biến cho phép người dùng các máy đo khoảng cách chính xác đắt tiền hơn khác giảm chi phí hệ thống mà không làm giảm hiệu suất. Đầu ra cảm biến có thể được sử dụng với thiết bị PLC hiện có và cũng phù hợp cho các ứng dụng lắp đặt cáp ở khoảng cách xa.Tính năng cảm biến siêu âm mb7480:Gói tiêu chuẩn chống bụi và chống nước IP67 Kích thước nhỏ và chi phí thấp, độ phân giải cao Cảm biến báo cáo khoảng cách đọc trực tiếp Hiệu chỉnh thời gian thực, chống âm thanh và tiếng ồn điện tử Khoảng cách có thể đo được lên tới 5 métThông số sản phẩm cảm biến siêu âm mb7480:1. Khoảng cách phát hiện: 50cm ~ 5m 2. Góc chùm tia: 11 ° 3. Điện áp nguồn: 10v-32v 4. Tốc độ lấy mẫu: 7,5hz 5. Nhiệt độ hoạt động: - 40oC ~ + 65oC 6. Chế độ đầu ra: 4 ~ Dòng điện tương tự 20mA